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 ▼ボックス内に設置したブロワーの排気圧力について  hexValue! 09/1/7(水) 2:17
   ┗Re:ボックス内に設置したブロワーの排気圧力について  でんたく 09/1/8(木) 0:42
      ┗Re:ボックス内に設置したブロワーの排気圧力について  hexValue! 09/1/8(木) 2:44
         ┗Re:ボックス内に設置したブロワーの排気圧力について  でんたく 09/1/9(金) 0:59
            ┗Re:ボックス内に設置したブロワーの排気圧力について  hexValue! 09/1/9(金) 1:46

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 ■題名 : ボックス内に設置したブロワーの排気圧力について
 ■名前 : hexValue!
 ■日付 : 09/1/7(水) 2:17
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   クリーンルーム(クラス100)内に装置を設置し、
装置側の排気(ブロワーの排気)を設備側排気へと送ることになり、
装置側の排気圧力、風量を求め、設備側担当者へ提出することになりました。
自分なりにいろいろと調べ排気圧力、風量を求め提出しましたが
理解できていないために設備担当者の方からの質問で困っています。

はじめに
「設備担当者から排気圧力、風量を教えて下さい。」と連絡があり、
調べた結果から、
「排気圧力:0 風量:最大2.6mm3/min」と回答をしました。

その後、設備担当者から
「設備側圧力:400Pa、風量2.0mm3/minですが、問題ありますか?」
と返答が帰ってきました。

自分では判断できないと考え、設備担当の方に連絡したのですが、
「設備側圧力:400Pa、風量2.0mm3/minですが、問題ありますか?」
としか返事が返ってきません。

そこで、以下3点について教えてください。

1.この条件で問題ないのでしょうか?

2.ブロワーを設置しているボックスは密閉されていない為、
  圧力はクリーンルーム内と同じと考え、排気圧力:0と考えましたが
  これは、間違っているのでしょうか?
  
3.装置側の排気圧力とは?
  排気圧力というのは何のことを指しているのか。
  ブロワーから排気されるさいの空気の圧力のことでしょうか。

4.ボックスを密閉した場合にはブロワーの排気によって圧力が
  生まれるのでしょうか?

装置、設備の説明

設備側排気圧力:400Pa(多分、負圧だと思います。)

     装置:ブロワー2台をボックス内に設置。
        ブロワーの排気はボックス内に出し、
        そのボックスから400Paで設備排気へ排気します。

ボックスサイズ:H:500 W:500 D:1000 (mm)

ボックス側排気口サイズ:丸穴(φ39)

  ブロワーA:ワーク吸着時、ほぼ空気の漏れはありませんので、
        静圧10Kpa 風量約0.1mm3/min
        (ブロワーAの最大静圧12Kpa、最大風量1.5mm3/min)     

  ブロワーB:ワーク吸着時、空気の漏れが大きいので、
        静圧0.3Kpa 風量約1.0mm3/min
        (ブロワーBの最大静圧9Kpa、最大風量1.1mm3/min) 
  
今回のような件は、はじめてのことで知識も経験もありません。
そのため説明もめちゃくちゃになっているかもしれませんが、
よろしくお願いいたします。

 ───────────────────────────────────────  ■題名 : Re:ボックス内に設置したブロワーの排気圧力について  ■名前 : でんたく  ■日付 : 09/1/8(木) 0:42  -------------------------------------------------------------------------
   1.設備排気=局所熱排気かガス排気だと推察し、設備担当と貴方様との間に誤解があると思いますが問題ないとは思います。ボックスと設備排気ダクト間にボリュームダンパを取付ければすむ問題だと予測します。

2.はい間違ってます。排気風量だけ教えてあげれば良かったと推測します。詳細わからないので推論です。
排気圧力=送風機の能力を設備担当は言ってるのだと思います。

3.送風機の能力は風量と静圧(=排気圧力)で表現されます。送風機の静圧を指しているのだと推測します。

4.ボックスの密閉性が不明瞭なので断定できませんが、凡そマイナス側に圧力は傾くはずです。ボックス内の圧力は排気される空気量とボックスの密閉性(隙間)によって変わります。

 ───────────────────────────────────────  ■題名 : Re:ボックス内に設置したブロワーの排気圧力について  ■名前 : hexValue!  ■日付 : 09/1/8(木) 2:44  -------------------------------------------------------------------------
   でんたく様

返信、本当にありがとうございます。

返信いただいた内容を良く読み、落ち着いて考え直し、もう一度整理して
みました。今回、わからなかったのは、2.の「ボックス内の圧力」でした。
長々とわかりにくい文章を書いてしまいました。申し訳ありません。

・装置の吸着パネルには負圧センサー(SMC)が取り付けてあり、
 動作中の吸着パネル、ブロワー間の圧力表示が-10KPaだとした場合。

1.ブロワーに直接排気ダクトを取り付けた場合、排気圧力は10KPa。

2.今回のボックスに排気ダクトを取り付けた場合、
  排気圧力=ボックス内の圧力=?KPa 


>4.ボックスの密閉性が不明瞭なので断定できませんが、凡そマイナス側に圧力は
>傾くはずです。ボックス内の圧力は排気される空気量とボックスの密閉性(隙間)
>によって変わります。

完全に密閉する方が良いのでしょうか?
完全に密閉するより、隙間がある方が、ボックス内の排気が良いような
気がするのですが、よろしければ教えていただけないでしょうか?

よろしくお願いいたします。

 ───────────────────────────────────────  ■題名 : Re:ボックス内に設置したブロワーの排気圧力について  ■名前 : でんたく  ■日付 : 09/1/9(金) 0:59  -------------------------------------------------------------------------
   隙間ないと熱やガスなどを排気し難いです。
防塵(飛散防止)若しくはガス排気の場合も同じく何処からか排気する空気を引っ張ってこれる経路がないとボックスの中の排気というわけにはいかないと思います。

但し、ガス排気の場合は少し複雑にしておかないと簡単に隙間を作ってしまうというわけにはいかないですね。

 ───────────────────────────────────────  ■題名 : Re:ボックス内に設置したブロワーの排気圧力について  ■名前 : hexValue!  ■日付 : 09/1/9(金) 1:46  -------------------------------------------------------------------------
   でんたく様、ありがとうございます。

空気を引っ張ってこれる経路がある方が良いということですね。

今回は、とても勉強になりました。
どうもありがとうございました。

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