(リリース引用)
製造プロセス用局所排気システムに特化した耐酸可変風量システムを開発
低風量域での安定制御と低価格を実現
新日本空調株式会社は、電子デバイスなどの製造プロセス用局所排気システムに特化した、安定制御と低価格を両立した耐酸可変風量装置(局排用高速VAV)を開発しました。
本システムは、医薬分野の研究開発用ドラフトチャンバ給排気システムで採用されている、高速VAVの不要な機能を除き、風量測定精度と安定制御に機能を絞り込むことで、省エネルギーのために必要な低風量域までの安定制御が可能です。
システム構成コストも、機能を絞り込むことと局所排気用耐酸ダンパに差圧センサ、コントローラ、アクチュエータを一体化することにより、当社従来比1/3を達成しました。2014年1月から当社の技術開発研究所において、モックアップ施設を用いて風量測定精度と、制御の安定性の検証試験を実施しました。更に2014年3月に某電子デバイス工場に試験導入し、フィールドテストを実施して、単体で40%以上の風量削減を実証しました。
今後は、2014年第二四半期以降より客先納入の開始を予定しており、半導体や液晶などの電子デバイス工場の新築案件やリニューアル案件に、省エネシステムとして技術提案し、本システムの導入に向けて展開して参ります。
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