カラー図解 クリーンルームがわかる本

ミクロ以下の超清浄空間を実現するクリーンルームの基礎知識から設計、対策まで、そのしくみと技術をカラー図解を交えてやさしく説く。

第1章 クリーンルームの基礎知識
第2章 クリーンルームのしくみ
第3章 半導体工場のクリーンルーム
第4章 医薬品製造工場のクリーンルーム
第5章 食品工場のクリーンルーム
第6章 クリーンルームの省エネルギー対策
第7章 クリーンルームの地震対策―耐震から免震構造へ