クリーンルームの種類や構造をわかりやすく解説。 専門用語を身近な例で説明するコラムや、巻末の索引で、実務にも役立つ知識が身につくよう編集されている。
最新技術の情報を盛り込んだ [改訂版]。
1章 空気をきれいにする
1.1 空気の質
空気の生い立ち/室内空気の環境基準/室内空気の汚染物/室内空気汚染物
による健康影響
1.2 換気の方法
換気の種類/換気の気流形式
2章 クリーンルームの生い立ちと規格
2.1 クリーンルームとは
クリーンルームの生い立ち/一般環境とクリーンルーム環境
2.2 クリーンルームの規格
クリーンルームの定義/清浄度規格
3章 クリーンルームの世界
3.1 ICRとは
3.2 ICRの世界
3.3 BCRとは
3.4 BCRの世界
3.5 BCRで出てくる用語
4章 クリーンルームのしくみ
4.1 清浄化のための基本的な手法とは
清浄化基本手法/清浄空間構築の4原則
4.2 気流の制御
気流による微粒子の移動・搬送/気流解析/気流測定/気流の可視化
4.3 クリーンルームの分類
気流方式による分類/形式による分類
4.4 クリーンルーム施設の構成
清浄度レベルによるゾーン分け/クリーンルーム附室,エアシャワー,
エアロック室による汚染侵入防止/各室の配置計画/空調・清浄化システム
の構成と機能/クリーンベンチ/クリーンルームの内装・構造
4.5 クリーンルーム設備の設計計画
クリーンルームにおける性能評価と運転状態/空気清浄度の設定/外気
取入れ量と室内圧力/室内発じん量/外気じん埃濃度/室内循環回数及び
制御風速の検討
4.6 エアフィルタ
エアフィルタの種類と捕集性能/エアフィルタの性能試験法/ろ材の種類/
ろ材の構造別による分類/微粒子を捕るしくみ/粗じん用エアフィルタ/
中性能エアフィルタ/高性能エアフィルタ/ケミカルエアフィルタ
4.7 クリーンルームの上手な使い方
衣類の管理/作業者の入退室管理/持ち込み用品,備品類の管理/
室内環境のモニタリング
5章 微粒子を測る
5.1 清浄空間を管理する
何を測るのか/何のために測るの?/どんな測定器で測るの?
5.2 測定器
粒子濃度と粒子径の測定
5.3 施設の性能を測る
フィルタを測る/クリーンルームを測る
5.4 汚れの原因をさぐる
6章 微生物を測る
6.1 空気の微生物を測る
空中落下微生物測定法/空中浮遊微生物測定法
6.2 表面に付着している微生物を測る
6.3 微生物を測る諸条件
関連参考文献一覧 / 索引
column
単位のおはなし/太平洋にかつお一匹/除じん対象粒子径/集積度/
歩留り/微風速計の物差し
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