|
出入口はエアロックになっているものとして出入口の漏洩量は無視し、給気量の増加分を試算します。
クリーンルーム体積8,000m3
外気量30,000m3/h(換気回数3.75回/h)
クリーンルームの気密性に関する資料がないため、空気清浄ハンドブックの記載を流用する。
非気密性:1vol%/min(負圧25mmAq)の場合(空気清浄ハンドブックDOEホットセル設計指針例より)
漏洩率は差圧の√に比例するため
→20Paの場合 漏洩率=1vol%/min×60×√20/(25×9.8)
=17vol%/h
漏洩量=体積×漏洩率=1,360m3/h
室圧20Pa時の漏洩量分の給気量を加算すると
給気量=31,360m3/h
排気量=30,000m3/h
ダンパ開度の算定
室圧12→20Paに上げる。
現況の制気口の圧力=室圧として儕=12Pa
儕=ζ・v^2/2・ρ
制気口(ダンパ)の局部抵抗係数ζ=0.52(給気側ダンパ開度=0と仮定)
v=√儕×2/(ρ×ζ)
給気側通過風速v=6.2m/s
排気側通過風速v=5.9m/s(給気量と排気量の比率より)
局部抵抗係数ζ=儕÷(v^2/2・ρ) 儕=20
排気側ダンパ閉の局部抵抗係数ζ=20/(5.9^2/2×1.2)
=0.96
メーカー資料ダンパ500×500の場合、開度10度でζ=1.07より
排気側ダンパ開度=8度閉(比例配分)
|
|
|