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（一部引用）

朝日工業社は精密空調機「ASCシリーズ」に半導体の製造工程向けに温度・湿度を精密に制御できる上位モデル「高性能温湿調機＝写真」を追加した。温度制御の精度を従来のプラスマイナス0・5度Cから同0・05度Cにまで高めた。湿度の制御も加え、同0・5％RH（相対湿度）の精度で制御が可能。ラピダス（東京都千代田区）から受注し、同社が北海道千歳市内に建設している半導体工場の露光工程などに納入した。

リンク→ https://news.yahoo.co.jp/articles/b80b3ea5ff230fc62f87c55ebc31ac508d0539da

ニュースイッチ 2025/1/5(日) 13:10配信



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ラピダスが採用…朝日工業社、「半導体向け温湿調機」上位モデルの機能

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