Ｐａｇｅ 1289 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 建築設備フォーラムへ ┃ 会議室に戻る ┃ ＩＮＤＥＸ ┃ ≪前へ │ 次へ≫ ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ ▼クリーンルームの清浄度について 大阪おやつ 06/3/17(金) 17:47 ─────────────────────────────────────── ■題名 ： クリーンルームの清浄度について ■名前 ： 大阪おやつ ■日付 ： 06/3/17(金) 17:47 -------------------------------------------------------------------------
| クリーンルームの清浄度について質問です. 液晶のTFTの代表的な生産方法として ・アモルファスシリコンTFT液晶 ・低温ポリシリコンTFT液晶 の2種類ありますが、生産クリーンルーム内の環境においては どちらのほうがより高い清浄度を要求するのでしょうか？ また、どちらがどんなケミカルを嫌うのでしょうか？ 教えてください。 |
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