Ｐａｇｅ 741 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 建築設備フォーラムへ ┃ 会議室に戻る ┃ ＩＮＤＥＸ ┃ ≪前へ │ 次へ≫ ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ ▼超純水加湿によるエアハン・ダクト系の腐食について [名前なし] 04/11/16(火) 18:21 ┣Re:超純水加湿によるエアハンの腐食について hatomori 04/11/17(水) 12:45 ┃ ┗Re:超純水加湿によるエアハンの腐食について [名前なし] 04/11/17(水) 13:29 ┣Re:超純水加湿によるエアハン・ダクト系の腐食について 忠犬社員 04/11/17(水) 16:32 ┃ ┣Re:超純水加湿によるエアハン・ダクト系の腐食について [名前なし] 04/11/17(水) 17:30 ┃ ┗Re:超純水加湿によるエアハン・ダクト系の腐食について [名前なし] 04/11/17(水) 17:31 ┃ ┗Re:超純水加湿によるエアハン・ダクト系の腐食について 忠犬社員 04/11/17(水) 18:08 ┃ ┗Re:超純水加湿によるエアハン・ダクト系の腐食について [名前なし] 04/11/17(水) 18:11 ┣Re:超純水加湿によるエアハン・ダクト系の腐食について 元機械メーカー 04/11/17(水) 17:31 ┃ ┗Re:超純水加湿によるエアハン・ダクト系の腐食について [名前なし] 04/11/17(水) 18:18 ┃ ┗Re:超純水加湿によるエアハン・ダクト系の腐食について 元機械メーカー 04/11/18(木) 19:42 ┃ ┗Re:超純水加湿によるエアハン・ダクト系の腐食について [名前なし] 04/11/18(木) 19:47 ┗Re:超純水加湿によるエアハン・ダクト系の腐食について おにぐん 04/11/17(水) 18:40 ┣Re:超純水加湿によるエアハン・ダクト系の腐食について [名前なし] 04/11/17(水) 19:23 ┗Re:超純水加湿によるエアハン・ダクト系の腐食について シリュー＠喪中 04/11/19(金) 8:08 ─────────────────────────────────────── ■題名 ： 超純水加湿によるエアハン・ダクト系の腐食について ■名前 ： [名前なし] ■日付 ： 04/11/16(火) 18:21 -------------------------------------------------------------------------
| クリーンルーム空調の加湿において、間接式蒸気加湿器（超純水仕様）を使用し、エアハンにて室内循環させている場合、噴霧された蒸気（超純水が蒸気化したもの）が室内の空気と混合するとH2O+CO2→HCO3となり、酸性（PH＝5程度）の結露水が発生するため、エアハンのコイルやケーシング、ダクトなどを腐食させるという事例をお持ちの方はおられませんでしょうか？一般の蒸気加湿や水加湿でもH2O+CO2→HCO3の原理は同じなのですが、ドレンなどが酸性に傾き、コイルを腐食させるというケースは聞いた事がありませんが、超純水の場合、水道水に比べ不純物がない分、空気中から受ける影響が大きく、酸性となる傾向が強いような気がしています。一般的な蒸気加湿などに比べて腐食に対する対策が特に必要なのかどうか、アドバイスをいただけないでしょうか。よろしくお願い致します。 |
| 機械屋には難しいご質問ですね。 経験者でないと答えられないのでは。 話がそれますが、超純水とは、どのような処理をしているのでしょうか？ 純水とＲＯ水の経験はあるのですが？ |
| hatomoriさん有難うございます。ご質問につきまして返答させていただきます。 某メーカーに問い合わせたところでは、純水は一般水をイオン交換樹脂に通し、導電率を1μS/cm以下に処理したものとされていますが、超純水とは純水をさらに特殊なイオン交換樹脂を通して導電率を0.1μS/cm以下に下げたものをいうとの事です。ですので純水に比べさらに不純物が除去された水であり、その反面、他の物質を吸収しやすくなっているものと思われます。 |
| こんにちは。化学的根拠は無いのですが、経験上特別な対策を行う必要性はないと思われます。 その前に、 >酸性（PH＝5程度）の結露水が発生するため とありますが、結露水の発生はエアハンの冷却コイルで発生するということでしょうか？ 内部循環しているエアハンですと、結露しないのでは？（ドライコイルでは？） 外気の取り入れ方法はどのように行っておりますか？（外気処理機が別にありますか？） どちらにせよ、私の経験上はコイル、ケーシング、ダクト類に関して特別な対策はしてないですが、クレーム付いたことはないですよ。 あ、でももしかしてバイオのほうですか？ そうなると話は別なのですかね？そっちは私も弱いのでそうでしたら参考程度に聞き流してください。(^^ゞ |
| >こんにちは。化学的根拠は無いのですが、経験上特別な対策を行う必要性はないと思われます。 >その前に、 > >>酸性（PH＝5程度）の結露水が発生するため > >とありますが、結露水の発生はエアハンの冷却コイルで発生するということでしょうか？ >内部循環しているエアハンですと、結露しないのでは？（ドライコイルでは？） >外気の取り入れ方法はどのように行っておりますか？（外気処理機が別にありますか？） > >どちらにせよ、私の経験上はコイル、ケーシング、ダクト類に関して特別な対策はしてないですが、クレーム付いたことはないですよ。 > >あ、でももしかしてバイオのほうですか？ >そうなると話は別なのですかね？そっちは私も弱いのでそうでしたら参考程度に聞き流してください。(^^ゞ アドバイス有難うございます。空調システムとしましてはクリーンルーム（恒温恒湿）の空調機で、ＳＡ・ＲＡは内部循環しており、室内から排気されるＥＡを補うためＯＡを空調機のＲＡチャンバーに直接接続しております。外気処理設備はありません。このため冬期ではＲＡ＋外気の混合点が室内要求湿度を下回りますので、加湿要求が働き超純水が加湿ノズルより噴霧されます。室内温湿度条件が25℃±2℃ 50％±5％のため、冬期でも冷却コイルが働く事があります。結露水と書きましたが冷却コイルでの結露はほとんど無いかもしれません。むしろ空気に乗り切れなかった加湿蒸気がエアハンファンブロック内でドレン化する事のほうが多そうです。忠犬社員さんがご経験されたシステムはやはり室内循環ですか？加湿器はやはり間接式蒸気加湿器ですか？教えて下さい。 |
| アドバイス有難うございます。空調システムとしましてはクリーンルーム（恒温恒湿）の空調機で、ＳＡ・ＲＡは内部循環しており、室内から排気されるＥＡを補うためＯＡを空調機のＲＡチャンバーに直接接続しております。外気処理設備はありません。このため冬期ではＲＡ＋外気の混合点が室内要求湿度を下回りますので、加湿要求が働き超純水が加湿ノズルより噴霧されます。室内温湿度条件が25℃±2℃ 50％±5％のため、冬期でも冷却コイルが働く事があります。結露水と書きましたが冷却コイルでの結露はほとんど無いかもしれません。むしろ空気に乗り切れなかった加湿蒸気がエアハンファンブロック内でドレン化する事のほうが多そうです。忠犬社員さんがご経験されたシステムはやはり室内循環ですか？加湿器はやはり間接式蒸気加湿器ですか？教えて下さい。 |
| 私の経験上のシステムは、殆どが外気処理機＋ドライコイル＋ＦＦＵのシステムです。（室内循環系にエアハンを用いるシステムは、中・小規模のＣＲでは今でも盛んに行われていますよね。）室内空気の循環系の空気搬送は１００％ＦＦＵで行っており、室内負荷はほぼ顕熱比＝１となり、この負荷を処理するためにドライコイル（冷却水コイルは、あえて減湿しないようにコイル出口空気温度は２０度程度で選定します）を設置します。 加湿は、外気処理にのみ必要となり、シェル＆チューブ熱交換器等による間接純水加湿を行います。 私が考えるに、蒸気スプレー加湿は空調機の適正な構成（このへんはノウハウなので詳細は控えます）と適正なダクトの施工を行えば加湿効率は限りなく１００％になると考えます。つまり逆に言うと、加湿が乗らなくて、凝縮してしまうようなエアハンの構成やダクトの施工を行わないようにすることが先決と思われます。 結局、化学的な根拠についてはさっぱりわからない私でした。。。(^^ゞ |
| お返事ありがとうございます。大変参考になりました。 |
| イオン交換樹脂を通過した無イオン水であれば，経験上お気づきのように無イオン水と二酸化炭素の反応によって生じる炭酸(H2Co3)に対して緩衝作用を行うイオンが無いのでpHは容易に酸性側へ傾きます(ただし緩衝状態にない液体に対して測定したpHがどの程度の意味を持つか私は知りません)。 しかしながらこの程度の物質量でしたら(空気中の二酸化炭素の存在比率を思い出して下さい)通常のメンテナンスが行われていれば有意に「腐食量が大きい」と言うことはできないでしょう。 鉄細菌による腐食（この場合見た目は柔らかい水酸化鉄の様な錆コブになります）を心配する方が先かも知れません。彼らも普段はおとなしいですが，特定条件で大繁殖しますので… |
| アドバイス有難うございます。お恥ずかしいですが私は化学的な知識をほとんど持ち合わせておりませんので、重ねて教えていただきたいのですが、｢炭酸(H2Co3)に対して緩衝作用を行うイオンが無いのでpHは容易に酸性側へ傾く｣という意味がよくわかりません。緩衝作用とはどのような事でしょうか？また、緩衝作用を行うイオンが無いと何故賛成側へ傾くのでしょうか？ご面倒ですが、ご指導願えませんでしょうか。よろしくお願い致します。 |
| 話すと長くなってしまうので誤解を承知で切りつめます. 水道水には微量の塩類が溶け込んでいて,その影響で二酸化炭素が溶け込んで炭酸になっても，溶け込んだ量の分だけ酸性になるのを妨害しているのです。 これは一般的な感覚と異なる反応で，理系でも生物などを専攻しないと習わないとおもいます。 私の結論は「気にするほどじゃないと思いますよ」です。SUS使っておけば問題ないでしょう。 |
| ご回答有難うございました。 |
| お題から外れてしまいますが、 加湿用給水が超純水である必要というのは どのような、理由なのでしょうか。 電子部品系のクリーンルームでも最近はそこまでスペックを上げる必要が あるのでしょうか？ 10年くらい前は、一次純水程度でよかったのですが・・・ ちなみに、加湿用給水同様、空調機・ダクトもグレードが高いのですか？ すいません道が外れすぎました。 以前の経験では、コイル・フィンとも、ＳＵＳで製作差せたような記憶が 有ります。（高価ですが） 多加湿の空気は出来るだけ上流側（空調機側）でエリミネータなどで、 水を切ってからダクトに送ってやる方がよいと思います。 また、加湿器の配置を変更できないのでしょうか？ 空調機の下流側に設置して露点を押えて、必要分だけ加湿というのは如何 なのでしょう？ |
| アドバイス有難うございます。半導体メーカーの検査・洗浄工程の部屋の空調設備なのですが、加湿用給水に超純水まで必要なのかどうかはよくわかりません。付近に一次純水の配管が無い（二次純水は近辺に既設配管あり）事が理由だと思います。空調機、ダクトは全く一般的な仕様で、冷却コイル→加熱コイル→加湿ノズルの配置です。今回のケースは年間25℃±2℃ 50％±5％、クラス10,000の小さなクリーンルームなのですが、外気処理空調機などは別に持たず、設備排気量+加圧OA分のOAを直接エアハンに取り込んでいます。冬場は加湿が必要となりますが、加湿ノズルから噴霧された超純水が、空気に乗り切らずに一部ドレン化してエアハン内部に水滴が付着し（この水滴が弱酸性）、エアハン内部を腐食させることはないのでしょうか？一次純水でも水道水を使用した蒸気加湿でも、H2O+CO2＝H2CO3は同じ現象なのでしょうが、水の純度に伴う酸化傾向の違いがよくわかりません。おにぐんさんのご経験では問題はありませんか？それともやはりエアハンはSUS構造にしておく事が無難なのでしょうか？ |
| シリューです。 >お題から外れてしまいますが、 加湿用給水が超純水である必要というのは >どのような、理由なのでしょうか。 >電子部品系のクリーンルームでも最近はそこまでスペックを上げる必要が >あるのでしょうか？ 主に、無菌動物飼育では、イオン交換水以上のレベルのものを使います。 特に体質的に虚弱(本質無菌とでも申しましょうか)の場合、蒸留水を使う事もありま した。半導体工場でも、最近は金属イオンやシリカの存在を除外する(イオンレベル) 為、超純水を設計仕様で唱う場合もあります。 上記ツリーで話題になっている、超純水を加湿に使用した場合の弊害については、 特に問題発生は有りませんでした。(１０年以上使用にて） 以上、遅ればせながら、カキコ致します。 |
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